Occhio guida per i MEMS

Problema: Per assicurarsi che colpiscano le parti giuste della cornea durante la chirurgia Lasik per la correzione della vista, i medici si affidano a uno scanner che risponde ai movimenti oculari e reindirizza gli impulsi laser. Gli scanner di oggi costano migliaia di dollari e offrono ancora una precisione non proprio ideale.

Gli specchi circolari scolpiti nel silicio sono controllati da movimenti di strutture a forma di pettine. (Per gentile concessione di Hyuck Choo)

Soluzione: All'Università della California, Berkeley, i ricercatori del Microfabrication Laboratory hanno utilizzato tecniche poco costose per costruire uno scanner in microscala che si muove fino a 30.000 volte al secondo, rispetto alle 4.000 volte al secondo della tecnologia convenzionale. Gli studenti laureati Hyuck Choo e David Garmire hanno inventato un modo per intagliare un pezzo di silicio in due strutture interconnesse a forma di pettine. L'applicazione di una tensione a un pettine fa muovere l'altro verso l'alto o verso il basso. Uno specchio attaccato ai pettini reindirizza un raggio laser. Sebbene le unità a pettine siano già utilizzate in alcuni sistemi microelettromeccanici (MEMS), i pettini hanno dovuto essere costruiti su wafer di silicio separati e incastrati manualmente. Poiché il nuovo dispositivo è facile da fabbricare, non si tratta solo di un passo incrementale, ma di uno sviluppo importante, afferma Roger T. Howe, l'ingegnere elettrico della Stanford University che ha inventato la trasmissione a pettine negli anni '80. Choo afferma che la tecnologia potrebbe essere incorporata a basso costo in scanner chirurgici e altri dispositivi.

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